Product laser
産品中心一次摻雜,工藝流程簡單,經濟性好
F-T勻化整形技術,光斑能量分布均勻,表面損傷小
所有與矽片接觸部分均爲非金屬材質,降低污染影響,PL幹淨
摻雜曲線可自由優化,明顯提高光電轉換效率
高産能,高精度,高均勻性,高穩定性
選配多種在線檢測功能,保障産品高良率
模塊化設計,可根據客戶需求定制,兼容性強
适用矽片尺寸 | 182mm~230mm,兼容各類矩形片 |
适用矽片厚度 | 100-180μm |
設備産能 | ≥9000pcs/h@182mm*182mm |
圖形精度 | ≤±15μm@182mm |
碎片率 | ≤0.02%@182mm*182mm |
上下料方式 | AGV雙層雙軌進出或單層雙軌進出 |
卡塞盒數量 | 5x2+1+1 |