Technology Application
技術應用Laser ablation technology
應用原理 / Principle
激光消融技術是利用激光在矽片背面進行打孔或開槽,将部分AlOx與SiNx薄膜層打穿露出矽基體,背電場通過薄膜上的孔或槽與矽基體實現接觸。
Process Introduction
具有較高能量密度的激光束照射在被加工材料表面,材料表面吸收激光能量,溫度上升,産生熔融、燒蝕、蒸發,從而達到去除表層的目的。激光消融智能制造設備是PERC生産流程中不可或缺的關鍵性裝備,PERC太陽能電池制造隻需要增加激光消融智能制造設備及其它少量輔助設備即可完成生産線的升級和改造,兼容現有生産線,以相對較低的成本提升電池技術參數和生産效率。